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由于純水的活度高總之，極易溶解氣體，吸收空氣中的二氧化碳不斷進步，所以超純水設備必須嚴格密封或充氮保護工藝技術。如采用不銹鋼管輸送，內(nèi)表面要經(jīng)酸洗規模，盡量縮短輸送距離近年來，同時要經(jīng)常殺菌防止微生物污染。新設備運轉(zhuǎn)前要對整個系統(tǒng)進行滅菌發展目標奮鬥，用活性炭和陽離子交換樹脂在溫度105℃下技術先進，滅菌30-60min，或?qū)渲D(zhuǎn)變?yōu)殁c型后再用0.5%NaCIO溶液浸1-3h延伸。一般一個月滅菌一次認為，對制藥工業(yè)每周滅菌一次。